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(四)极限真空与放气量

2018-12-05

再谈极限真空与放气量 

对真空应用设备而言极限真空和放气量是关乎品质的两个重要的概念,在钛金镀膜中尤是如此。这两个物理量相互关联,但哪一个更重要,更本质呢?应该是后者。


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再谈极限真空与放气量.doc


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