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(三)真空技术基础知识

2018-12-05

真空技术基础知识  

 真空技术的理论基础是物理学,真空物理涵盖气体分子运动论和低温等离子体物理。前者包括气体在平衡态下的特性、非平衡态下依靠热运动的输运过程及宏观流动的规律、在高真空及超高真空起主要作用的气-固界面现象等.而后者基本内容是有关低气压气体放电的知识和规律。以上真空技术的基础知识对观察、分析、研究真空获得,真空测量以及真空应用中的现象和问题是十分有益的,仅供业内同行参考。


 

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