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73、什么是溅射产额?

2019-02-15

答:当某种离子以确定的能量、确定的方向轰击某种材料表面时,所能溅射出的材料原子数,称为在该种入射离子条件下,材料的溅射产额,又称为溅射率,溅射系数。



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