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75、为什么选用氩气作为放电气体?

2019-02-15

答:因为氩气的放电电压不高,易于形成稳定的放电;氩气有较大的原子量,这是产生较大的溅射产额所需要的;氩气是惰性气体,不会与靶材发生反应;氩气也是自然界含量最多的惰性气体;对某种特定材质的溅射率,是随着入射粒子原子量的变化发生周期性的变化,而每每在惰性气体产生最大值。



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