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84、什么是三极溅射?其工艺参数如何?

2019-02-15

答:在二级溅射的基础上,增加一个发射电子的热阴极及一个加速电子的辅助阳极,由于热电子增强了放电空间的电离能力,所以可以降低放电的压力,减少气体杂质的污染,提高沉积速率,此为三极溅射。典型的工艺参数:工作电压0.5Pa,溅射电压1500V,靶电流密度2.0mA/ cm2,薄膜沉积速率



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