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86、什么是偏压溅射?

2019-02-15

答:在一般溅射装置的基础上,将基体电位与接地阳极电位分开,并在基体与等离子体之间施加一定大小偏置电压,可以吸引一部分放电空间的离子趋向基体,其轰击效应可以达到改善膜层微观组织与性能的目的。此为偏压溅射。


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