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机组应用

机组应用

  • 所属分类:低碳无油真空机组
  • 发布日期:2019-02-19
  • 点击次数:
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  • 技术参数

机组应用:

    机组应用

   1.  攻克高真空 ”无法提供弧光放电所需的大量气体分子”技术难关,研制成功世界首台低碳、无油、大抽速(5~10万升/秒)高真空泵—“电弧化学吸附泵机组”(简称电弧泵),攻克无油真空(真空质量最高境界)抽速低、费用昂贵二大难题,为无油真空进入产业界敞开了大门;
       2.  研制成功世界首台“低碳、无油蒸发镀膜设备“(电弧泵机组的典型应用);

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